(links) Bild eines Auflösungstests (Siemensstern) aufgenommen mit einer Wellenlänge von 13.5 nm in unterschiedlichen Zoom-stufen. Hierbei konnte ein field-of-view von bis zu 100 µm x 100 µm und eine räumliche Auflösung von bis zu 18 nm erreicht werden. (rechts) Gemessenes komplexes Feld der beiden verwendeten EUV Belichtungen (oben OAM-Strahl, unten Diffuser-Strahl).
Wasserzeichen — sich überlagernd angeordnete Rhomben mit verschiedenen Transparenzen

Innovative EUV-Mikroskopie-Arbeit erhält Student Paper Award auf der HILAS-Konferenz in Wien

Wilhelm Eschen für neuartiges EUV-Mikroskop ausgezeichnet
(links) Bild eines Auflösungstests (Siemensstern) aufgenommen mit einer Wellenlänge von 13.5 nm in unterschiedlichen Zoom-stufen. Hierbei konnte ein field-of-view von bis zu 100 µm x 100 µm und eine räumliche Auflösung von bis zu 18 nm erreicht werden. (rechts) Gemessenes komplexes Feld der beiden verwendeten EUV Belichtungen (oben OAM-Strahl, unten Diffuser-Strahl).
Foto: W. Eschen, IAP
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  • Forschung

Meldung vom: | Verfasser/in: Ira Winkler

Auf der diesjährigen High-Intensity Lasers and High-Field Phenomena (HILAS) Konferenz, die vom 12. bis 14. März in Wien stattfand, wurde der Student Paper Award für herausragende Präsentationen und Konferenzbeiträge im Themenbereich „Kompakte EUV- und Röntgen-Lichtquellen“ an einen Doktoranden des IAP verliehen. Diese alle zwei Jahre stattfindende Konferenz zieht ein breites Publikum aus Wissenschaft und Industrie an und verzeichnet etwa 500 Besucher.
Dieses Jahr wurde Wilhelm Eschen, mit dem Student Paper Award ausgezeichnet. Sein Beitrag mit dem Titel „High-Speed, High-Resolution, and Material-Specific Coherent EUV Imaging Using a High-Order Harmonic Source“ stellte ein neues EUV-Mikroskop vor, das die Vorteile modernster, lasergetriebener kohärenter EUV-Quellen und neuester computergestützter Bildgebungsverfahren kombiniert. Diese Technologie, bisher hauptsächlich auf Großforschungsanlagen wie Synchrotrons beschränkt, erreicht eine räumliche Auflösung von unter 20 nm. Diese außergewöhnliche Leistung wird durch die erstmalige Verwendung von strukturierten EUV-Strahlen ermöglicht.
Wilhelm Eschen konnte außerdem zeigen, dass seine entwickelten Methoden die Identifizierung subzellulärer Strukturen in biologischen Proben ermöglichen. Dies wurde eindrucksvoll anhand eines Modellorganismus (Aspergillus nidulans) demonstriert. Seine Methode weist entscheidende Vorteile gegenüber anderen etablierten Methoden auf. So bietet das von ihm entwickelte EUV-Mikroskop eine größere Eindringtiefe und einen besseren chemischen Kontrast im Vergleich zur konventionellen Elektronenmikroskopie.
Die vorgestellten neuen Methoden zur Verbesserung der Auflösung, Geschwindigkeit und Genauigkeit der EUV-Mikroskopie eröffnen viele weitere Anwendungsmöglichkeiten. Kritische Komponenten in EUV-Lithographiemaschinen können damit perspektivisch „at-wavelength“ hochauflösend untersucht werden. Zudem ergeben sich zahlreiche vielversprechende Anwendungen, wie zum Beispiel die Untersuchung von neuartigen Batteriematerialien, integrierten optischen Schaltungen oder weiteren Mikroorganismen wie Bakterien und Viren.
Für Wilhelm Eschen ist der Preis eine große Ehrung am Ende seiner Zeit als Doktorand am IAP: „Ich bin besonders stolz darauf, Teil eines Teams zu sein, das neue Maßstäbe im Bereich der linsenlosen EUV-Mikroskopie setzt. Der Preis bestätigt, dass die in den letzten Jahren vorangetriebene Forschung vielversprechend ist und dass sich die linsenlose EUV-Mikroskopie in Zukunft als komplementäre Bildgebungsmethode zu bestehenden Verfahren etablieren kann.“ Seine Arbeit wurde am IAP und HI-Jena unter der Betreuung von Prof. Jens Limpert und PD Dr. Jan Rothhardt durchgeführt.